MS/MCS 系列 耐腐蝕質(zhì)量流量計產(chǎn)品介紹：

  MS/MCS 系列質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器的核心部件是 Alicat 專有的層流壓差技術(shù)，確保在大流量情況仍然是線性流動，從而 補(bǔ)償了工藝溫度和壓力變化對質(zhì)量流量及體積流量產(chǎn)生的影響。 所有 Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器均具有 NIST 可溯源校準(zhǔn) 證書。

MS/MCS 系列質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器采用全不銹鋼結(jié)構(gòu)及彈性密封材料，內(nèi)置 130/128 種標(biāo)準(zhǔn)氣體供 選擇。集成式多功能數(shù)字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進(jìn)行氣體切換、設(shè)定值輸入及 PID 閥門 調(diào)節(jié)。MS/MCS 系列設(shè)備支持標(biāo)準(zhǔn)的模擬通訊和 RS-232 數(shù)字通訊模式，另有各類定制化選項供特殊項目 需求，如：用于危險環(huán)境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區(qū)和 CSA(美國)1 類 2 區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等。另有便攜式(MBS 系 列)質(zhì)量流量計可選。

為腐蝕性過程氣體應(yīng)用的首肯，如：半導(dǎo)體行業(yè) 等。多變量測量與控制、多種氣體標(biāo)定以及 100:1 量程可調(diào)比使得僅用單臺 MS/MCS 系列質(zhì)量流量控制器 便可取代多臺設(shè)備的功效。很高可達(dá) 0.4%的精度、0.2%重復(fù)性及不到 100 毫秒的控制響應(yīng)時間很大程度優(yōu) 化了氣體控制過程。 

MS/MCS 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器可測量與控制從 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的滿量程的任何流量。

可測量 130 多種氣體的質(zhì)量和體積流量，其中包括 32 種腐蝕性氣體。

技術(shù)參數(shù)：

0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 4000 slpm 滿量程

精度(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

高精度選配(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下) :±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)高精度(選配)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設(shè)備

精度(雙向流量型號)(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) F.S:負(fù)滿量程到正滿量程

重復(fù)性: ±0.2% F.S 

零點漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm

工作范圍 / 量程可調(diào)比: 1% ~ 100 F.S / 100:1

很大可測流量: 128% F.S 

典型響應(yīng)時間 :10 毫秒(可調(diào)整)

啟動預(yù)熱時間 :< 1 秒

標(biāo)準(zhǔn)工況 (STP): 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換) 

工作溫度: ?10 ~ +50 oC

工作濕度范圍 (非冷凝) :0 ～ 100 

內(nèi)部很大工作壓力(靜壓) :145 psig 

設(shè)備允許通過的很大瞬時壓差 (入口壓力－出口壓力): 75 psid 

很限壓力 175 psig 

對安裝方式/方向的要求: 無 

防護(hù)等級: IP40